Fab 52工厂目前已部署4台ASML极紫外光刻设备。报解当前3万片的英特圆良月产量已提前达成原定目标。但经过持续优化,成月产万除这一产能已能满足Panther Lake等内部产品的片晶生产需求。2027年后可达3万片水准。报解Panther Lake芯片已采用该工艺量产。英特圆良据设备业者此前透露,成月产万除最新报告显示,片晶采用18A工艺的报解月产能已达到约3万片晶圆。18A月产能预计2026年上看1万至1.5万片,英特圆良2029年量产。成月产万除目前良率正以每月约7%至8%的片晶速度稳定攀升。